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镀锌风管主要作用有哪些类型呢?

2021-11-26

镀锌风管主要作用有哪些类型呢?


(1)一般排气:其来源于机台运转发热产生不含有害物质或是高温气体,但考虑无尘室空调负荷与过滤装置负荷,因此将废气以一般风车抽至大气排放至大气环境而不需处理。注:GEX采用镀锌螺旋风管,HEX采用SUS304酸排(SEX)、碱排(AEX)。

(2)酸碱性排气:其主要来源于化学清洗工作站,清洗晶片时所产生之挥发性气体,此气体部分含有浓烟,部分则对呼吸系统有刺激性作用有害人体,故必须经过Scrubber中水洗中和处理,再由风机排入大气。

(3)有机溶剂排气:其主要来源于涂胶、显影工序和各工序使用有机溶剂清洗过程时所产生,需经有机废气处理设备处理后,再由风机排入大气。


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